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微波等離子在半導體去膠的應用

何為半導體晶圓plasma除膠?

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半導體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結合能力。


除膠之外,微波等離子還有什么應用?

FC封裝微波等離子處理

金屬鍵合前處

晶圓表面活化


SINDIN自主研發,掌控核心技術

國內首家自主研發微波半導體去膠發生器技術;

磁流體旋轉架,保證處理效果均勻;

微波無放電電極,高效均勻,保證刻蝕率;

低溫等離子體,避免產生熱損傷;

自偏壓要求低,微波結和磁路可以兼容。


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