所屬分類:真空等離子清洗機
真空等離子鍍膜機(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。