所屬分類：USC干式超聲波除塵
3μm塵粒97%的清除率，6μm塵粒98%的清除率
超聲波干式除塵設備(Ultrasonic Dry Cleaner)，通過鼓風機，給除塵頭的超聲波發生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體，氣體通過超聲波發生器產生超聲波，利用超聲波傳播的能量及振動，使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力，以拉升、滾動及滑動三種運動方式(單一或混合）從玻璃基板表面脫離，使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。
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