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ICP干法等離子去膠機ST-6100

所屬分類：等離子去膠機

微波等離子去膠機反應速度快，反應時間短，處理過程溫度低


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ICP干法等離子去膠機適用于DESCUM（預前處理，去膠渣）、聚合物去除（PI、BCB、PBO）、離子注入后光阻去除等，腔體適用范圍8寸樣品（4-6寸兼容）。

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