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RIE Plasma等離子去膠機

所屬分類：等離子去膠機

可有效去除表面殘留物、介質與介質間光阻去除

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產品詳情

RIE Plasma去膠機適用于碳化硅刻蝕、表面殘留物清除、氧化硅或氮化硅刻蝕等，腔體適用于4-8寸樣品。

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產品中心: 快速退火爐; 等離子清洗機; 等離子去膠機; 微波等離子清洗機; 接觸角測量儀; USC干式超聲波除塵; 靜電消除器

行業案例: 半導體行業; 新能源行業; 顯示行業; 3C行業; 儀器儀表行業; 汽車行業

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